3D輪廓測量儀是一款用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量的檢測儀器,用途廣泛,其可應用于半導體制造及封裝工藝檢測、光學加工、微納材料及制造、汽車零部件等超精密加工行業及航空航天、科研院所等領域中。以白光干涉技術為原理、結合精密Z向掃描模塊、3D建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像。
3D輪廓測量儀測量過程中的影像識別能力使得全自動測量成為可能,批量的產品數百數據可以通過按一個按鈕實現自動測量和自動輸出結果,改變傳統的依靠經驗的手動測量方式,使自動測量的重復性控制在微米級,極大程度地提高檢測水平??梢约友b激光、探針、轉臺等傳感器,實現一個坐標系下的多元傳感的綜合應用3d輪廓測量儀定制,提供了復雜測量難題的解決方案3d輪廓測量儀。使用冷光源系統,可以避免容易變形的工件在測量是因為熱變形所產生的誤差,并避免了由于碰觸引起的變形。
3D輪廓測量儀的操作步驟:先打開穩壓電源,待電壓穩定后打開電腦,啟動儀器后啟動測量軟件,并注意驅動箱(Z)與傳感器(X)的位置與軟件加載時數值一致。再進行電腦操作:
一、打開輪廓儀測量軟件(雙擊)。
二、直接登錄。
三、直接點驅動箱X,Y(Z)軸位置確認。(確認顯示值與實際標尺上所在的位置是否一致)
3D輪廓測量儀可用于眼科鏡片、高亮度LED、半導體器件、TSV、太陽能電池片、汽車零部件、觸摸屏和精密加工零件等各行業,為用戶提供快速、準確地三維非接觸式測量。在可見光領域,球面透鏡是一種基礎的光學器件,其表面粗糙度和曲率半徑都關系著光的傳播效果,可以一次完成這兩項參數的檢測。